引言 現(xiàn)代汽車正由一個(gè)單純交通工具朝著能滿足人類需求和安全、舒適、方便及無污染的方向發(fā)展。要實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時(shí)獲取，這勢(shì)必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大、成本高，它們?cè)谄嚨膽?yīng)用受到很大的限制。 近幾年來，從半導(dǎo)體集成電路（IC）技術(shù)發(fā)展而來的微機(jī)電系統(tǒng)（microelectronmechnicalsystem,MESM）技術(shù)日漸成熟。微型傳感器是目前最為成功并最具實(shí)用性的微型機(jī)電器件，主要包括利用微型膜片的機(jī)械形變產(chǎn)生電信信號(hào)輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場(chǎng)陳干起、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進(jìn)化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 1、汽車用傳感器分類 汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機(jī)了解汽車各部分狀態(tài)的；要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。按在汽車上的作用可分為控制發(fā)動(dòng)機(jī)、控制底盤以及給駕駛員提供各種信息用傳感器，構(gòu)成這些傳感器的材料有精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維及高分子薄膜等；按輸出特性來分有模擬型傳感器和數(shù)字型傳感器；按構(gòu)成原理來分，有結(jié)構(gòu)型、韌性型和復(fù)合型。為方便起見，現(xiàn)按汽車傳感器的控制對(duì)象來分類。 2、微型傳感器在汽車中的應(yīng)用

引言 現(xiàn)代汽車正由一個(gè)單純交通工具朝著能滿足人類需求和安全、舒適、方便及無污染的方向發(fā)展。要實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時(shí)獲取，這勢(shì)必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大、成本高，它們?cè)谄嚨膽?yīng)用受到很大的限制。 近幾年來，從半導(dǎo)體集成電路（IC）技術(shù)發(fā)展而來的微機(jī)電系統(tǒng)（microelectronmechnicalsystem,MESM）技術(shù)日漸成熟。微型傳感器是目前最為成功并最具實(shí)用性的微型機(jī)電器件，主要包括利用微型膜片的機(jī)械形變產(chǎn)生電信信號(hào)輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場(chǎng)陳干起、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進(jìn)化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 1、汽車用傳感器分類 汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機(jī)了解汽車各部分狀態(tài)的；要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。按在汽車上的作用可分為控制發(fā)動(dòng)機(jī)、控制底盤以及給駕駛員提供各種信息用傳感器，構(gòu)成這些傳感器的材料有精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光導(dǎo)纖維及高分子薄膜等；按輸出特性來分有模擬型傳感器和數(shù)字型傳感器；按構(gòu)成原理來分，有結(jié)構(gòu)型、韌性型和復(fù)合型。為方便起見，現(xiàn)按汽車傳感器的控制對(duì)象來分類，如表1所示。 2、微型傳感器在汽車中的

作者：紹 瑩 劉 麗 來源：《電子產(chǎn)品世界》 微型傳感器家族新成員-微型接近傳感器 利用MEMS（Micro Electromechanical System，微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)制作的微型傳感是近年來傳翕器發(fā)展的主流之一，特點(diǎn)是體積小、重量輕、功耗低、功能集成高和可靠性高等。其制造過程利用了半導(dǎo)體業(yè)較為成熟的工藝，能實(shí)現(xiàn)與之類似的大批量、高精度加工。目前，已研制出的微型傳感器種類繁多，其中壓力、加速度、磁（霍爾效應(yīng)）、溫度、光學(xué)（CCD）等傳感器已有成熟商品問世。本文則將以Xiaofeng Yang(Advanced Micro Machines公司)等人研制的一種單片式傳感器為例，介紹微型接近傳感器這一微型傳感家庭的新成員。 用途及基本原理 這種表型傳感器主要用于為最終用戶的產(chǎn)品提供一種檢測(cè)其是否被移動(dòng)、改動(dòng)或摔

              日立制作所與YRP泛在網(wǎng)絡(luò)化研究所2004年11月24日宣布開發(fā)出了全球體積最小的傳感器網(wǎng)絡(luò)終端。該終端為安裝電池的有源無線終端，可以搭載溫度、亮度、紅外線、加速度等各種傳感器。設(shè)想應(yīng)用于大樓與家庭的無線傳感器以及安全管理方面。此次開發(fā)的是利用頻率為300MHz的微弱無線信號(hào)與基站進(jìn)行通信的無線終端。通信距離在10米左右。配備有8位微控制器，使用該公司自已的無線標(biāo)準(zhǔn)及通信協(xié)議。使用電源為鋰離子充電電池或本田電池。型號(hào)最小的終端尺寸包括鋰離子充電電池在內(nèi)為2.3cm×2.0cm×1.5cm，體積6.9cm3。由于“原來最小的也在10cm3左右”（日立制作所），所以該終端“是目前全世界最小的”（日立制作所）。 除尺寸外，通信方式采用“間歇發(fā)射型”（日立制作所），電池工作時(shí)間也得以大幅度延長(zhǎng)。“在（備用的傳感器網(wǎng)絡(luò)無線端口）ZigBee中，由基站向終端發(fā)出名為標(biāo)識(shí)（Beacon）的控制信號(hào)，終端為接收這一信號(hào)而耗費(fèi)電力。此次開發(fā)的終端是通過終端向基站發(fā)出信號(hào)才開始通信，所以不需要等待信號(hào)”（日立制作所）。 具體待機(jī)時(shí)間為，使用電壓＋3.7V、容量150mAh的市售鋰離子充電電池時(shí)，“將無線通信設(shè)定為5分鐘發(fā)射一次的話、無需更換電池或充電即可使用1年半時(shí)間”（日立制作所）。另一方面，在ZigBee下，盡管經(jīng)常號(hào)稱“2節(jié)3號(hào)堿性干電池可使用1年～2年”。但每節(jié)3號(hào)堿性干電池的容量為1000mAh～2000mAh

1、前言 當(dāng)今，具有智能傳感器技術(shù)撿測(cè)頭的呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀已經(jīng)聞世，這就比較理想地解決了對(duì)各種情感和呼吸之間聯(lián)系作大量研究的問題，并且可以用來真實(shí)紀(jì)錄一個(gè)人的呼吸狀況及其變化。 在此本文對(duì)呼吸監(jiān)視儀中用微型傳感器-硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器組成新型智能傳感器及在技術(shù)方案中的功能作一個(gè)分析與介紹。 2、呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀與智能傳感器及技術(shù)（其組成框圖，見圖1所示） 2.1呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀(見圖1右面所示) 該監(jiān)視儀的用途是用來監(jiān)視呼吸狀況，并能給出大致的呼吸深度。這個(gè)監(jiān)測(cè)儀監(jiān)測(cè)一些可以用來評(píng)價(jià)焦慮程度的重要參數(shù)：呼吸頻率、呼吸的均勻程度以及呼氣和吸氣之間的間歇。平靜、積極的情緒通常會(huì)導(dǎo)致呼出長(zhǎng)于吸入，二者時(shí)間之比的參數(shù)，能從一個(gè)方面揭示人的焦慮程度。相對(duì)較高水平的胸呼吸（相對(duì)于腹呼吸）也可說明焦慮程度。監(jiān)視儀對(duì)胸呼吸的觀察反映出監(jiān)視儀具有大量的可視信息功能。 2.2智能傳感器技術(shù) 圖1中的呼吸監(jiān)視儀采用硅壓阻式傳感器（SPRT—Siliconpiezoresistancetransducer）檢測(cè)吸入與呼出時(shí)對(duì)應(yīng)壓力的降低和增加。SPRT的輸出被饋入一個(gè)MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器芯片，而MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器芯片又對(duì)SPRT的進(jìn)行驅(qū)激勵(lì)(或用電流源激勵(lì))，其SPRT固有誤差又被饋入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后將經(jīng)過補(bǔ)償?shù)碾妷盒盘?hào)送入具有12位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）MAX1202。ADC輸出（數(shù)字化的壓力信號(hào)）進(jìn)入一個(gè)PC接口MAX3232，并被轉(zhuǎn)換為RS-232電平。最后信號(hào)被傳遞到PC

http://cnbpq.com 文中針對(duì)反應(yīng)堆中一種具有小間隙窄長(zhǎng)疊層薄板結(jié)構(gòu)形式的堆芯元件（簡(jiǎn)稱板型元件）在高速流場(chǎng)中流體誘發(fā)振動(dòng)和動(dòng)態(tài)失穩(wěn)等問題研制出了一種微型傳感器以適應(yīng)電磁法的要求，這種微型傳感器具有體積小，制作簡(jiǎn)單，幾乎不干擾“流場(chǎng)”等優(yōu)點(diǎn)。通過對(duì)板型元件流致振動(dòng)試驗(yàn)的綜合動(dòng)態(tài)測(cè)試，結(jié)果表明這種微型傳感器可靠而有效。 由于堆疊層板狀堆芯元件流致振動(dòng)及穩(wěn)定性研究是核工業(yè)科學(xué)基金資助課題，其研究?jī)?nèi)容是針對(duì)一種新型反應(yīng)堆燃料元件—疊層板狀元件在高速流場(chǎng)中誘發(fā)振動(dòng)和動(dòng)態(tài)失穩(wěn)等問題。這些問題的研究竟對(duì)反應(yīng)堆熱交換系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和工藝提供新的測(cè)試方法和必要的數(shù)據(jù)，從而克服目前在設(shè)計(jì)中的盲目性。 由于研究對(duì)象是一種新型構(gòu)件，工作環(huán)境和結(jié)構(gòu)有其特殊性，采用常規(guī)測(cè)試方法難以達(dá)到目的。通過反復(fù)研究和探索，決定采用電磁測(cè)試法的方案。根據(jù)電磁法的要求，首先要有一種傳感器，這種傳感器必須考慮到測(cè)試條件的特殊性，屬非標(biāo)準(zhǔn)器件，要滿足課題的要求，只有自行設(shè)計(jì)制造。這種微型傳感器為了采集板型元件流致振動(dòng)的信號(hào)供信號(hào)分析儀和計(jì)算機(jī)分析研究，并對(duì)電磁測(cè)試法的其它電氣設(shè)備進(jìn)行了探索性的研究。最后通過兩年的實(shí)測(cè)使用，證明是成功的。該項(xiàng)目曾榮獲核工業(yè)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

安全、舒適、無污染、經(jīng)濟(jì)性一直是汽車工業(yè)和用戶追求的目標(biāo)。實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時(shí)獲取，這勢(shì)必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大，成本高，它們?cè)谄嚨膽?yīng)用受到很大的限制。近年來從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (Microelectromechnical SYSTEM, 微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種能敏感和檢測(cè)力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。80年代初，微型壓阻式多路絕對(duì)壓力（Manifold Absolute Pressure）傳感器開始大批量生產(chǎn)，取代了早期采用LVDT技術(shù)的壓力傳感器。80年代中期微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊,它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的大規(guī)模應(yīng)用勢(shì)必將不限于發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒控制和安全氣囊,在未來5～7年內(nèi)包括發(fā)動(dòng)機(jī)運(yùn)行管理、廢氣與空氣質(zhì)量控制、ABS(antilock brake SYSTEM,防抱死系統(tǒng)）、車輛動(dòng)力學(xué)控制、自適應(yīng)導(dǎo)航、車輛行駛安全系統(tǒng)（如氣囊和障礙物檢測(cè)與避撞等）在內(nèi)的應(yīng)用將為MEMS技術(shù)提供廣闊的市場(chǎng)。全世界的汽車產(chǎn)量將從2000年的4750萬輛(包括客車、特種車輛和輕型卡車）增長(zhǎng)到2005年的5400萬輛。2000年汽車用電子產(chǎn)品的市場(chǎng)為227億美元，預(yù)計(jì)到2005年達(dá)到309億美元，年平均增長(zhǎng)率達(dá)

李學(xué)東,余志偉,楊明忠 摘要：和傳統(tǒng)的傳感器相比,微型傳感器具有許多新特性,它們能夠彌補(bǔ)傳統(tǒng)傳感器的不足,具有廣泛的應(yīng)用前景,越來越受到重視。文中詳細(xì)介紹了一些微型傳感器件的結(jié)構(gòu)和原理,說明了微型傳感器的基本性能特點(diǎn)和微型傳感器的發(fā)展趨勢(shì)。 關(guān)鍵詞：MEMS 技術(shù)；微型傳感器；智能化；多功能化 微型傳感器的特點(diǎn) 傳統(tǒng)的傳感器件因其制作工藝與半導(dǎo)體IC 工藝不兼容,所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號(hào)處理器件相適應(yīng),于是制約了整個(gè)系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。 微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡(jiǎn)單的物理縮小的產(chǎn)物,而是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點(diǎn)，可以極大地提高傳感器性能。在信號(hào)傳輸前就可放大信號(hào),從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補(bǔ)償線路,可改善輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。 具有陣列性?？梢栽谝粔K芯片上集成敏感元件、放大電路和補(bǔ)償線路?？梢园讯鄠€(gè)相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性,便于與微電子器件集成與封裝。 利用成熟的硅微半導(dǎo)體工藝加工制造,可以批量生產(chǎn),成本非常低廉。 典型的微型傳感器 微機(jī)械加速度傳感器 它是最早利用MEMS 技術(shù)開發(fā)成功,并取得廣泛應(yīng)用的微型傳感器之一。微加速度傳感器的主要工作方式有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式,現(xiàn)在又出現(xiàn)了微機(jī)械熱對(duì)流式加速度傳感器。 圖1 和圖2 分別給出了新型加速度傳感器作用原理和結(jié)構(gòu)示意圖。在懸臂梁

美國(guó)麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對(duì)微量有毒氣體做出相當(dāng)強(qiáng)烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測(cè)有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）大會(huì)上介紹了這一研究計(jì)劃。美國(guó)“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，這種微型氣體探測(cè)器在現(xiàn)實(shí)環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對(duì)更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計(jì)劃制造出的整個(gè)探測(cè)裝置僅為一個(gè)火柴盒大小。探測(cè)裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識(shí)別氣體分子，并將檢驗(yàn)結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報(bào)警信號(hào)。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時(shí)15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測(cè)范圍只有約一個(gè)食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計(jì)劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護(hù)供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

據(jù)有關(guān)報(bào)告顯示,2008年全球傳感器市場(chǎng)規(guī)模為506億美元,而到2010年預(yù)計(jì)全球傳感器市場(chǎng)則可達(dá)600億美元以上.近些年來,與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動(dòng)傳感器發(fā)展的一個(gè)重要?jiǎng)恿?這種融合使傳感器的性能更加強(qiáng)大,而體積卻越來越小,催生出微型傳感器.微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件,從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件.與此同時(shí),傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的拓展帶來了更多的市場(chǎng)需求.近些年來,基于MEMS等技術(shù)的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等的普及不斷給傳感器市場(chǎng)帶來新的增長(zhǎng)點(diǎn).比如最近興起的傳感網(wǎng)概念,就與微型無線傳感器息息相關(guān),也正是受益于傳感網(wǎng)的發(fā)展,無線傳感器市場(chǎng)受到業(yè)界的關(guān)注并增長(zhǎng)迅速,據(jù)有關(guān)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),在2007-2010年該市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率會(huì)超過25%. 微型傳感器工藝技術(shù)創(chuàng)新 微型傳感器聽起來是體積微小的傳感器,但實(shí)際上,它并不是傳統(tǒng)傳感器簡(jiǎn)單物理縮小的產(chǎn)物.據(jù)專家介紹,它是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng),使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料,通過MEMS等加工技術(shù)制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點(diǎn),可以極大地提高傳感器性能.它的出現(xiàn)解決了傳統(tǒng)的傳感器因其制作工藝與半導(dǎo)體工藝不兼容,在性能、尺寸和成本上不能與通過半導(dǎo)體技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號(hào)處理器件相適應(yīng)的難題. 為滿足市場(chǎng)更高的要求,傳感器廠商在技術(shù)與工藝上不斷進(jìn)步,產(chǎn)品也更加差異化.比如,愛普生的微型傳感器采用QMEMS工藝制作.愛普生(中國(guó))有限公司副總經(jīng)理酒井嘉弘告訴《中國(guó)電子報(bào)》的記者, QMEMS是合并了Q

1、前言 當(dāng)今，具有智能傳感器技術(shù)撿測(cè)頭的呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀已經(jīng)聞世，這就比較理想地解決了對(duì)各種情感和呼吸之間聯(lián)系作大量研究的問題，并且可以用來真實(shí)紀(jì)錄一個(gè)人的呼吸狀況及其變化。 在此本文對(duì)呼吸監(jiān)視儀中用微型傳感器-硅壓阻式傳感器（SPRT）與MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器組成新型智能傳感器及在技術(shù)方案中的功能作一個(gè)分析與介紹。 2、呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀與智能傳感器及技術(shù) 2.1呼吸醫(yī)療監(jiān)視儀 該監(jiān)視儀的用途是用來監(jiān)視呼吸狀況，并能給出大致的呼吸深度。這個(gè)監(jiān)測(cè)儀監(jiān)測(cè)一些可以用來評(píng)價(jià)焦慮程度的重要參數(shù)：呼吸頻率、呼吸的均勻程度以及呼氣和吸氣之間的間歇。平靜、積極的情緒通常會(huì)導(dǎo)致呼出長(zhǎng)于吸入，二者時(shí)間之比的參數(shù)，能從一個(gè)方面揭示人的焦慮程度。相對(duì)較高水平的胸呼吸（相對(duì)于腹呼吸）也可說明焦慮程度。監(jiān)視儀對(duì)胸呼吸的觀察反映出監(jiān)視儀具有大量的可視信息功能。 2.2智能傳感器技術(shù) 呼吸監(jiān)視儀采用硅壓阻式傳感器（SPRT—Silicon piezoresistance transducer）檢測(cè)吸入與呼出時(shí)對(duì)應(yīng)壓力的降低和增加。SPRT的輸出被饋入一個(gè)MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器芯片，而MAX1450或MAX1457信號(hào)調(diào)理器芯片又對(duì)SPRT的進(jìn)行驅(qū)激勵(lì)(或用電流源激勵(lì))，其SPRT固有誤差又被饋入MAX1450或MAX1457之后并被校正，然后將經(jīng)過補(bǔ)償?shù)碾妷盒盘?hào)送入具有12位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）MAX1202。ADC輸出（數(shù)字化的壓力信號(hào)）進(jìn)入一個(gè)PC接口MAX3232，并被轉(zhuǎn)換為RS-232電平。最后信號(hào)被傳遞到PC機(jī)系統(tǒng)，這樣就可以顯示出呼吸波形，并對(duì)以上所述參數(shù)進(jìn)行分

美國(guó)麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對(duì)微量有毒氣體做出相當(dāng)強(qiáng)烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測(cè)有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）大會(huì)上介紹了這一研究計(jì)劃。美國(guó)“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，這種微型氣體探測(cè)器在現(xiàn)實(shí)環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對(duì)更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計(jì)劃制造出的整個(gè)探測(cè)裝置僅為一個(gè)火柴盒大小。探測(cè)裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識(shí)別氣體分子，并將檢驗(yàn)結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報(bào)警信號(hào)。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時(shí)15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測(cè)范圍只有約一個(gè)食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計(jì)劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護(hù)供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

美國(guó)麻省理工學(xué)院研究人員正在全力開發(fā)一種微型傳感器，該傳感器能對(duì)微量有毒氣體做出相當(dāng)強(qiáng)烈的反應(yīng)，能比以往任何裝置都更加迅速地檢測(cè)有毒工業(yè)化學(xué)品和生化戰(zhàn)劑。研究人員在2008年微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)大會(huì)上介紹了這一研究計(jì)劃。美國(guó)“每日科學(xué)”網(wǎng)近日發(fā)布了這一消息。 有別于以往的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，這種微型氣體探測(cè)器在現(xiàn)實(shí)環(huán)境中更易于使用，可以分散布置在室內(nèi)或室外任何區(qū)域。該小型裝置既減少了額定功率的消耗，還能對(duì)更為微量的氣體作出敏感反應(yīng)。 研究人員計(jì)劃制造出的整個(gè)探測(cè)裝置僅為一個(gè)火柴盒大小。探測(cè)裝置將利用氣相色譜—質(zhì)譜技術(shù)感受識(shí)別氣體分子，并將檢驗(yàn)結(jié)果轉(zhuǎn)化成電子報(bào)警信號(hào)。目前世界上已有的便攜式氣相色譜—質(zhì)譜儀需要耗時(shí)15分鐘才能給出結(jié)果，且有效探測(cè)范圍只有約一個(gè)食品袋容積大小。在耗能方面，已有的便攜式氣體傳感器需要耗用上千焦耳的能量，而新型傳感器耗能只有約4焦耳，且只用4秒鐘就能給出結(jié)果。 研究人員計(jì)劃在兩年內(nèi)完成開發(fā)，研發(fā)成功后將主要適用于保護(hù)供水系統(tǒng)和醫(yī)療診斷系統(tǒng)。

南京宏沐科技有限公司于2006年與德國(guó)HELM合作組建成立，專業(yè)從事壓力、液位、溫度測(cè)控儀表的研發(fā)和生產(chǎn)。日前，該公司研制生產(chǎn)的HM91微型壓力傳感器成功應(yīng)用于成都勘測(cè)科學(xué)院水利項(xiàng)目。 HM91系列微小型、超薄型及特殊形狀的壓力傳感器，采用了德國(guó)HELM壓力傳感器硅疊硅技術(shù)、國(guó)際先進(jìn)的微型化制作與封裝工藝、高精度集成壓阻力敏元件，進(jìn)行了精致巧妙的微型封裝，具有優(yōu)良的動(dòng)靜態(tài)特性。 目前出于對(duì)被測(cè)流場(chǎng)、安放位置或動(dòng)態(tài)頻響的要求，必須原位測(cè)壓時(shí)，常常對(duì)傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的要求，以期在不干擾流場(chǎng)狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)脈動(dòng)流場(chǎng)的變化規(guī)律。HM91微型壓力傳感器很好的回避了同類產(chǎn)品的弊端，可廣泛應(yīng)用于空氣動(dòng)力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)、流體力學(xué)及水工試驗(yàn)、水輪機(jī)及水下兵器試驗(yàn)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用、化爆或核爆沖擊波等許多研究中。 該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)為： 量 程0～10KPa至0～6MPa間任意量程 體積小，高頻動(dòng)態(tài)響應(yīng)，動(dòng)態(tài)壓力傳感器,微型壓力傳感器最小直徑為2.54mm，長(zhǎng)度為3.77mm，用于風(fēng)洞試驗(yàn)、葉輪機(jī)葉片壓力測(cè)量等場(chǎng)合。 高精度，

先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)成熟地應(yīng)用于我們的日常生活中，目前在這個(gè)領(lǐng)域存在大量的研究、資源開發(fā)和投資。通過MEMS技術(shù)在半導(dǎo)體上的應(yīng)用，我們可以在MEMS領(lǐng)域里獲得同樣的收益。通過采用MEMS技術(shù)，傳統(tǒng)半導(dǎo)體產(chǎn)品的成本、功耗、性能和物理尺寸的表現(xiàn)都將得到提升。過去很多MEMS設(shè)備被應(yīng)用于汽車、工業(yè)和導(dǎo)航領(lǐng)域，現(xiàn)在通過采用先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝和系統(tǒng)解決方案，我們可以使其應(yīng)用于消費(fèi)類電子設(shè)備比如游戲機(jī)、移動(dòng)電話、數(shù)字照相機(jī)等。 美新半導(dǎo)體提供加速度計(jì)以及地磁傳感器，對(duì)加速度計(jì)而言，我們正在采用獨(dú)有的熱對(duì)流技術(shù)來檢測(cè)重力加速度。 至于磁性傳感器，我們采用AMR技術(shù)(各向異性磁電阻)。盡管它是一個(gè)老的技術(shù)，但對(duì)消費(fèi)類電子應(yīng)用來說是一個(gè)很好的技術(shù)。傳統(tǒng)的霍爾效應(yīng)傳感器需要消耗較多的電流，因此在消費(fèi)類電子上的應(yīng)用有很大的劣勢(shì)。如果在消費(fèi)類電子產(chǎn)品的電路板上沒有被正確放置，GMR(巨磁電阻)可能被永久損壞。相反的，AMR技術(shù)沒有這些缺點(diǎn)，并且用很少的電流，有很高的精度和分辨率，而且具有低噪音和更長(zhǎng)的使用壽命等特點(diǎn)。這項(xiàng)技術(shù)非常適用于消費(fèi)電子。 微型傳感器未來的應(yīng)用發(fā)展趨勢(shì)一定會(huì)在家庭和消費(fèi)類電子上，因?yàn)樗鼈兪浅砷L(zhǎng)最快，也是最大的市場(chǎng)。傳統(tǒng)的MEMS已經(jīng)滲透到工業(yè)、汽車和導(dǎo)航系統(tǒng)的市場(chǎng)，我們看到基于MEMS技術(shù)的新產(chǎn)品提供了很低的成本，從而使相關(guān)市場(chǎng)受益。 我們主要的市場(chǎng)是在移動(dòng)電話，特別是國(guó)內(nèi)的移動(dòng)電話市場(chǎng)。因?yàn)橹袊?guó)市場(chǎng)的獨(dú)特性，我們?yōu)閲?guó)內(nèi)的手機(jī)客戶提供整體解決方案。我們和應(yīng)用研發(fā)公司一起合作，用我們的加速度計(jì)和磁傳感器開發(fā)了比如游戲、新的手機(jī)UI界面等等的應(yīng)用。我們也為不同的手機(jī)操作系統(tǒng)提供API

2006-2010年MEMS手機(jī)市場(chǎng)規(guī)模 單位：百萬美元 采用新型技術(shù)與工藝的微型傳感器，拓展了應(yīng)用領(lǐng)域，滿足了更高的要求，成為推動(dòng)傳感市場(chǎng)發(fā)展的動(dòng)力。 據(jù)有關(guān)報(bào)告顯示，2008年全球傳感器市場(chǎng)規(guī)模為506億美元，而到2010年預(yù)計(jì)全球傳感器市場(chǎng)則可達(dá)600億美元以上。近些年來，與半導(dǎo)體工藝的融合成為推動(dòng)傳感器發(fā)展的一個(gè)重要?jiǎng)恿?，這種融合使傳感器的性能更加強(qiáng)大，而體積卻越來越小，催生出微型傳感器。微型傳感器的出現(xiàn)使原本在很多不能應(yīng)用傳感器的領(lǐng)域得以應(yīng)用傳感器件，從而為系統(tǒng)產(chǎn)品的智能化提供了條件。與此同時(shí)，傳感器應(yīng)用領(lǐng)域的拓展帶來了更多的市場(chǎng)需求。近些年來，基于MEMS等技術(shù)的新興微型傳感器如加速度傳感器、角速度傳感器、無線傳感器、生物傳感器、光傳感器等的普及不斷給傳感器市場(chǎng)帶來新的增長(zhǎng)點(diǎn)。比如最近興起的傳感網(wǎng)概念，就與微型無線傳感器息息相關(guān)，也正是受益于傳感網(wǎng)的發(fā)展，無線傳感器市場(chǎng)受到業(yè)界的關(guān)注并增長(zhǎng)迅速，據(jù)有關(guān)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，在2007-2010年該市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率會(huì)超過25%。 微型傳感器工藝技術(shù)創(chuàng)新 微型傳感器聽起來是體積微小的傳感器，但實(shí)際上，它并不是傳統(tǒng)傳感器簡(jiǎn)單物理縮小的產(chǎn)物。據(jù)專家介紹，它是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料，通過MEMS等加工技術(shù)制備的新一代傳感器件，具有小型化、集成化的特點(diǎn)，可以極大地提高傳感器性能。它的出現(xiàn)解決了傳統(tǒng)的傳感器因其制作工藝與半導(dǎo)體工藝不兼容，在性能、尺寸和成本上不能與通過半導(dǎo)體技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號(hào)處理器件相適應(yīng)的難題。 為滿足市場(chǎng)更高的要求，傳感器廠商在技術(shù)與工藝上不斷進(jìn)步，產(chǎn)品

據(jù)市場(chǎng)研究公司BCC Research最新發(fā)表的研究報(bào)告稱，2008年全球微傳感器市場(chǎng)的銷售收入將達(dá)32億美元，比2007年的27億美元增長(zhǎng)18.5%。到2013年，全球微傳感器市場(chǎng)的銷售收入將達(dá)到84億美元。這個(gè)市場(chǎng)從2008年至2013年的復(fù)合年增長(zhǎng)率為21.3%。 BCC Research把這個(gè)市場(chǎng)分為微電機(jī)系統(tǒng)、生物芯片和納米傳感器等應(yīng)用市場(chǎng)。微電機(jī)系統(tǒng)是最大的微傳感器市場(chǎng)，2007年的銷售收入為22億美元。這個(gè)市場(chǎng)2008年的銷售收入將達(dá)26億美元，2013年的銷售收入將達(dá)64億美元，復(fù)合年增長(zhǎng)率為19.6%。2007年微電機(jī)系統(tǒng)占整個(gè)微傳感器市場(chǎng)份額的82.8%。這個(gè)比例在2013年將下降到76.5%。 生物芯片是第二大市場(chǎng)，2007年的銷售收入為4.65億美元，預(yù)計(jì)2008年的銷售收入將達(dá)5.815億美元，2013年的銷售收入將達(dá)18億美元，復(fù)合年增長(zhǎng)率為25.6%。生物芯片2007年占整合微傳感器市場(chǎng)的份額為17.2%，預(yù)計(jì)到2013年將提高到21.6%。 納米傳感器在2008年以后的商業(yè)性銷售將顯著增長(zhǎng)，到2013年的銷售收入將達(dá)1.599億美元，占整合微傳感器市場(chǎng)份額的將近2%。 在2007年，微電機(jī)系統(tǒng)壓力傳感器是最大的微傳感器市場(chǎng)，其次是微電機(jī)系統(tǒng)過載傳感器、生物芯片、微電機(jī)系統(tǒng)陀螺儀、化學(xué)和燃?xì)庖约盁醾鞲衅鞯取?/p>

文中針對(duì)反應(yīng)堆中一種具有小間隙窄長(zhǎng)疊層薄板結(jié)構(gòu)形式的堆芯元件（簡(jiǎn)稱板型元件）在高速流場(chǎng)中流體誘發(fā)振動(dòng)和動(dòng)態(tài)失穩(wěn)等問題研制出了一種微型傳感器以適應(yīng)電磁法的要求，這種微型傳感器具有體積小，制作簡(jiǎn)單，幾乎不干擾“流場(chǎng)”等優(yōu)點(diǎn)。通過對(duì)板型元件流致振動(dòng)試驗(yàn)的綜合動(dòng)態(tài)測(cè)試，結(jié)果表明這種微型傳感器可靠而有效。 由于堆疊層板狀堆芯元件流致振動(dòng)及穩(wěn)定性研究是核工業(yè)科學(xué)基金資助課題，其研究?jī)?nèi)容是針對(duì)一種新型反應(yīng)堆燃料元件—疊層板狀元件在高速流場(chǎng)中誘發(fā)振動(dòng)和動(dòng)態(tài)失穩(wěn)等問題。這些問題的研究竟對(duì)反應(yīng)堆熱交換系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和工藝提供新的測(cè)試方法和必要的數(shù)據(jù)，從而克服目前在設(shè)計(jì)中的盲目性。 由于研究對(duì)象是一種新型構(gòu)件，工作環(huán)境和結(jié)構(gòu)有其特殊性，采用常規(guī)測(cè)試方法難以達(dá)到目的。通過反復(fù)研究和探索，決定采用電磁測(cè)試法的方案。根據(jù)電磁法的要求，首先要有一種傳感器，這種傳感器必須考慮到測(cè)試條件的特殊性，屬非標(biāo)準(zhǔn)器件，要滿足課題的要求，只有自行設(shè)計(jì)制造。這種微型傳感器為了采集板型元件流致振動(dòng)的信號(hào)供信號(hào)分析儀和計(jì)算機(jī)分析研究，并對(duì)電磁測(cè)試法的其它電氣設(shè)備進(jìn)行了探索性的研究。最后通過兩年的實(shí)測(cè)使用，證明是成功的。該項(xiàng)目曾榮獲核工業(yè)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

接線方式：　  　技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號(hào)CZL-1X量  程300g、500g、600g綜合誤差0.03輸出靈敏度1.0±0.1mV/V非線性±0.02%F.S.重復(fù)性±0.02%F.S.滯  后±0.02%F.S.蠕  變±0.03%F.S.5min零點(diǎn)溫度漂移±1.0%F.S./10℃額定輸出溫度漂移±0.05%F.S./10℃零點(diǎn)輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻≥2000MΩ（50V）推薦激勵(lì)電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途手掌秤‍

接線方式：　  　技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號(hào)CZL-1H量  程0.5Kg、1Kg5Kg、8Kg、20Kg綜合誤差0.02輸出靈敏度1.0±0.15mV/V1.5±0.1mV/V非線性±0.02%F.S.重復(fù)性±0.02%F.S.滯  后±0.02%F.S.蠕  變±0.02%F.S.5min零點(diǎn)溫度漂移±0.2%F.S./10℃額定輸出溫度漂移≤+0.03%F.S./10℃零點(diǎn)輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻≥2000MΩ（50V）推薦激勵(lì)電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途廚房秤、郵資秤‍

接線方式：　  　       技術(shù)指標(biāo)：　  　型  號(hào)CZL-1R量  程0.6kg1kg2Kg、3Kg、5Kg、6kg綜合誤差0.03輸出靈敏度1.0mV/V1.5mV/V1.2mV/V非線性±0.15%F.S.重復(fù)性±0.03%F.S.滯  后±0.03%F.S.蠕  變±0.03%F.S.5min零點(diǎn)溫度漂移±0.1%F.S./10℃±0.3%F.S./10℃額定輸出溫度漂移±0.03%F.S./10℃零點(diǎn)輸出±0.1mV/V輸入電阻1055±10Ω輸出電阻1000±10Ω絕緣電阻＞2000MΩ（50V）推薦激勵(lì)電壓≤10V工作溫度范圍-10～+40℃過載能力150%F.S.推薦用途廚房秤‍